将封装好的器件放入密封实验箱，将光学干涉仪调整到观测封装的盖帽。然后将实验箱抽真空，超声波检漏仪同时用光学干涉观测盖帽是否变形。在视野内，超声波检漏仪同时观测每一只封装的盖帽是否随压力变化而变化。在减小的压力下保持时间t1，其盖帽有无继续变形。如果开始时随着实验箱压力改变，未检测到盖帽变形，或子啊实验箱压力保持恒定的情况下，超声波检漏仪检测到盖帽变形，则器件粗检漏不合格，应该拒收。上述程序为光学粗检漏。
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