被检件开口封严，局放检测仪放入真空检漏容器，并在容器中带入试验液，使其液面淹过被检件约5CM，用真空泵对检漏容器抽真空，使被检件内外产生压差，被检件内的气体就会通过漏孔向外泄露，在试验液中形成气泡。
抽真空气泡检漏也存在假漏冒泡的问题，当检漏容器抽真空以后，局放检测仪溶解在试验液中的气体和吸附在被检件凹凸不平表面及缝隙中的气体会释放出来，形成气泡，对检漏造成干扰。，但这些假漏产生的气泡也都比较凌乱，没有规则，位置也不固定，而且示越冒越少，仔细观察，与真漏产生的气泡还是可以区分开的。真漏产生的气泡位置比较固定，冒泡速度比较均匀，与假漏的冒泡差别还是比较大的。
抽真空气泡检漏前，局放检测仪应该对容器中的试验液预先抽真空一段时间，使溶解在试验液中的气体释放出来，经过这样处理以后，正式检漏时，试验液自身冒泡就很少了。检漏时，真空度不要抽得太高，也可以减少试验液和被检件假漏冒泡的干扰。
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